Les micro et nano résonateurs mécaniques et électromécaniques sont utilisés dans de nombreux capteurs (inertiels, pression, masse,...), comme référence de temps, dans les systèmes de balayage optiques,... Après un rappel sur les caractéristiques d'un résonateur et un survol des principales géométries et mode de fonctionnement, nous discuterons les différents mécanismes de pertes d'énergie vibratoire qui limitent les performances et les différents solutions pour les minimiser. Enfin nous présenterons les principales méthodes optiques utilisées pour mesurer leurs fréquences de résonance et modes de vibration.